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 由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,使用这些材料输送高纯气体易被污染,除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
为了确保输送的气体纯净度,要求管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时必须采用耐腐蚀的管材,否则管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。
实验室气路系统包括实验室集中供气系统和室内气瓶供气系统,可以满足不同等级要求的气体安全使用。中’央供气管路系统工程主要是为试/实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。气路安装工程设计的初期一定要搞清楚以上各方面的要求,然后进入前期的设计步骤,气瓶间设计的时候要考虑气体的种类。
中心实验室的所有管道应统筹规划、集中布置,以便于安装、操作和检修为布置原则;引入中心实验室的所有工艺管道总管应设切断阀,并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;输送干燥气体的管道宜水平安装,输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液体收集器。氧气管道与其它气体管道可同架敷设,其间距不得小于0.25m,氧气管道应处于除氢’气管道外的其它气体管道之上。
阀门是流体输送系统中的控制部件,具有截止、调节、导流、防止逆流、稳压、分流或溢流泄压等功能。阀门主要使用在气体或液体管道中,阀门包括安全阀、减压阀、稳压阀、球截止阀、针形截止阀、节流阀、放空阀等。气体管道工程使用什么阀门要看工艺配置,各种不同的阀门有各自的特性,正确配置才能达到操作、控制工艺的要求。如果仅仅是控制管道气体的通和断,且要求压力损失尽可能地小,那么球阀和蝶阀是最’好的选择。大管道宜用蝶阀,小管道宜用球阀。如果对管道气体的流量进行控制,可以在这些阀门上安装执行机构,可成为自动调节阀,允许减压的可以选用截止阀,其流量控制能力更强。阀门的选择还要取决于什么气体,一般的空气,氮’气等气体,从经济适用角度讲,可直接选用碳钢材质,但如果是特殊气体,例如氧气,需用不锈钢材质,还要经过禁油处理。
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